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2019104669402发明专利证书-气体喷嘴、气体反应设备及气体水解反应方法
2018100959223发明专利证书-杂化粉体材料制备方法
实用新型专利证书(签章)-2020204145138-表面改性联合处理装置
实用新型专利证书(签章)-2019222775640-表面改性装置
实用新型专利证书(签章)-2019215403817-氯硅烷净化装置
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